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应用知识
超声波频谱分析如何测量薄层厚度?(三)
来源: 时间:2022-10-25

相对于均匀性较好的环氧树脂层而言,EBPVD法因其自身工艺特点使得所制备的YSZ涂层内部存在一定数量的微小孔隙和裂纹,涂层呈现一定的非均匀性(见图8-3)。这种介质密度及弹性参数的局部波动造成声阻抗起伏变化,导致散射衰减变得更为复杂,并伴有频散现象发生,反映在声压反射系数相位谱上则表现为谐振频率间的比值不再严格满足奇数比的关系,并且谐振频率间比值偏离奇数比的程度与层本身的非均勾程度密切相关。这种情况下选择相邻谐振频率的间隔来计算涂层的厚度可以减小误差。

图8.3

同理,当已知声速c2=3100m/s时,结合反射系数相位谱中的谐振频率fn值(见图8-4),可根据式(8-4)计算出涂层的厚度,结果为139.5μm,测量结果的最大误差约为5.74%。同时,由相位谱可知f1:f3=1:3.6,说明YSZ涂层存在着明显的非均匀性。

图8.4

分析认为:环氧树脂可看做均匀介质,超声波在其中传播时无频散现象,因而谐振频率比值基本符合奇数比关系。而EBPVD法制备的YSZ涂层具有明显的非均质性,所以谐振频率比值发生较大偏差,在实际应用中应注意区别。

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