工具头的质量直接影响抛光的效果。根据所抛工件选择各种材料和形状的工具头。手持式超声抛光机常用工具头有如下几种。

一般选用H62或59的黄铜，1.5×8截面的铜片，或φ3,φ4的铜棒。适用于电脉冲和超声复合抛光及超声粗抛。

选用老而不枯，无节，纹直的毛竹，制成截面3× 12mm （留皮）的竹片，后端倒角，敲入变幅杆固紧后，由中间开始到前端逐渐削薄至1mm左右，苒根据工件要求削成合适形状。适用一般超声抛光。