残余应力的性质和大小会影响工件的变形、硬度、耐磨性、抗疲劳破坏以及抗腐蚀的能力等。因此，研究残余应力的产生、控制和利用，是保证产品质量的重要课题。

残余应力是由于工件不均匀的体积变化引起的。工件的热胀冷缩、塑性变形和金相组织的变化都会引起金属体积变化，都可产生残余应力。超声压光后金属表面的残余应力是由表层金属的塑性变形引起的。由超声压光造成的塑性变形是塑性压缩，因而工件表层产生残余压应力。但因表层金属受压向四周扩张时，受到内层金属的牵制，所以内层产生残余拉应力。