超声波功率源（或称发生器）是一种用于产生并向超声波换能器提供超声能量的装置。超声波发生器就其激励方式有两种：一种是他激式，另一种是自激式。如果按末级功放管所釆用的器件类型分，又可分四种：电子管式超声波发生器；可控硅逆变式超声波发生器；晶体管式超声波发生器及功率模块超声波发生器。电子管式与可控硅逆变式目前基本已淘汰，当前广泛使用的是晶体管式发生器。

他激式超声发生器主要包括两部分，前级是振荡器，后级是放大器。一般通过输出变压器耦合，把超声波能量加到换能器上。而自激式超声波发生器是把振荡、功放、输岀变压器及换能器集为一体，形成一闭环回路，回路在满足幅度、相位反馈条件，组成一个有功率放大的振荡器。并谐振于换能器的机械共振频率上。

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