什么是直线型行波压电马达？

来源：时间：2022-09-01

直线型行波压电马达除了具有旋转型压电马达的一般特点外，还具有许多其他优点，能直接产生直线运动，所以其具有更高的定位和速度控制精度，其最高定位控制精度可达到纳米级；由于其结构设计灵活，所以可采用多种形状的结构设计方案，并能实现装置的小型化和轻量化。目前，世界各国都在竞相发展基于直线型压电马达的定位控制系统。

图7.5所示为本多电子公司开发的薄型直线型压电马达产品样机。该样机利用三角形压电陶瓷做驱动振子，采用单侧驱动的方式，无负荷最大速度为450mm/s，最大推力为3N。直线型行波压电马达的重要用途在于精密定位控制，在相机镜头和精密制造等领域，利用直线压电马达，可以在更大的位移范围，实现自动的高精度控制。例如，在半导体制造业，日本的KYOCERA公司开发了全陶瓷材料压电马达驱动的工作台，用直线压电马达控制工作台相互垂直的两个方向的运动，如图7.6所示。

7.6

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