压电超声马达是一种新颖的压电器件,它不同于传统的电磁型马达,没有电磁绕组和磁路,不以电磁的相互作用来传递能量,而是利用压电陶瓷的逆压电效应将电能转换为超声波范围内的机械振动来获得驱动力,并通过摩擦耦合将驱动力转换成转子或滑块的运动。
与传统的电磁马达相比压电马达具有惯性小、响应快、控制特性好、不受磁场影响,其本身亦不产生磁场运动准确等诸多优点,特别是它具有质量轻、结构简单、效率高、噪声小,低速大打矩以及可直接驱动负载的特性,不需要附加齿轮变速机构,避免了使用齿轮变速箱而产生的振动、冲击和噪声、低效率、难以控制等问题,是对传统电磁驱动原理的突破和有力的补充。压电超声马达是典型的微机电系统(MEMS),本章介绍其工作原理与分析设计方法。
压电马达是以压电陶瓷材料作为驱动器的微型装置。在交变电场的作用下.压电陶瓷产生伸缩等运动现象,在弹性体中激发某种类型的振动和超声波动时,弹性体的表面借助于摩擦力,推动与其接触的物体运动。图71为压电超声马达的基本工作原理。
其主要组成元件有高频电源、振动体即超声马达的定子,压电陶瓷和弹性振动体和滑动体即超声马达的转子,以及滑动体即转子,包括摩擦材料和弹性滑动或转动体。振动体是能量的转换装置,其作用是把电能转换成振动的机械能,滑动体是压电马达的执行机构,其作用是将振动转化为转动或直线运动。高频电源具有发出超声信号、驱动和控制的功能。