超声珩磨装置由珩磨头体、珩磨杆、浮动机构、油石胀开机构、超声振动系统等五个部分构成,它是超声珩磨工艺系统的关键部分。而超声振动系统又由换能器、变幅杆、弯曲振动圆盘、挠性杆-油石座振动子系统、油石座等零部件组成。
图7-6是弯曲振动超声珩磨装置示意图。1是扭转振动压电换能器,2是变幅杆,3是扭转振动圆盘。在该盘的外圆附近,等距离地固定挠性杆4,与挠性杆相连的是弯曲振动油石座5,,珩磨杆6按箭头A所指的方向振动,箭头B、C为超声珩磨装置的直线往复和回转运动方向。
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