图7. 8 (a)为复合换能器型超声马达的基本结构;图7.8 (b)为复合换能器型超声马达的工作过程。复合换能器型超声马达由两组独立的压电元件组成。其中一组由朗子万扭转振子产生扭转振动,提供扭转力矩τ,并产生水平位移u;另一组由环形多层压电纵向振子产生纵向振动,控制摩擦力ƒo,其位移为w。这两个位移(u、w)合成定子表面质点的椭圆形位移轨迹。为了使马达能运转,转子与定子可通过弹簧加静态力FC从而得到足够的预应力ƒc。两组振子由两组电源来驱动。两组振子组成了一个马达定子。其中扭转振子产生马达旋转运动的转矩,它工作在谐振状态,从而可进行独立地控制。
这是它的一个优点。例如在小u时,仍可保持足够大的w,使马达低速时也有很好的稳定性。如果使用同一电源激励时,可通过改变扭转振子与多层纵向振子电源间的相位差,就能控制马达的转速和转向。这种马达,在定子与转子整个界面上,每点振动和旋转的转换都是同相进行的,这与行波型马达不一样,因此对摩擦材料一些性能的要求上会出现有差异,例如对硬度允许的范围也许更宽些。这种复合换能器型超声马达,工作过程共分四个步骤完成马达的旋转运动。