在液体中发生强力振动时,液体产生大负压,发生cavitation, 振动面及受振动波的物体表面引起cavitation腐蚀( ero-sion ),cavi tation腐蚀对加工的效果有二,其一是cavitation 发生的气泡破裂时,瞬间在周围的媒质中传送大冲击力,此力机械性微细腐蚀加工物。另一效果是磨料所致加工物的冲击或cavi tation所致表面的龟裂在次一瞬间因cavi tation的吸引作用,从物体表面除去微细量。
此种腐蚀作用究竟削出多少加工物?用玻璃加工物、直径的软钢制工具、周波数、复振幅、用水为加工液,工具到振动最下端位置到玻璃的距离在0.01~1.0mm之间改变10种类,使工具分别振动1小时,测定玻璃面发生的cavitation腐蚀量,此时,不用磨料。
图7.38为装置构造图,将钛酸钡薄片置于玻璃板下,以示波器确认工具接触玻璃的位置后,转动测微计,使加工物远离工具达所定距离。图7.39(a)是工具端面与加工物表面间的距离0.3mm时的腐蚀表面照片与在其直径方向测定的粗糙度曲线,间隙约0.2~0.3mm2时,腐蚀量成最大,其量只约0.1mm2,腐蚀深度20~25μm,这是以此条件超音波加工时的加工速度之10-4~10-5。
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