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声峰超声波焊接机批发商浅析多模态复合驻波型压电马达

来源： | 发布日期：2022-11-28

图7.8所示为纵弯复合驻波型压电马达，该类马达同时利用梁的纵向振动与弯曲振动工作。共振梁在两种模态共同激励下，产生纵弯振动模态复合，带动中间立柱顶端质点形成椭圆轨迹运动,从而驱动转子转动。不同的压电驱动方式产生了不同类型的压电马达，其共同的工作原理是压电驱动。

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由于微机械领域及微机电系统（MEMS）都需要驱动和控制器件，而最小的电磁马达的尺度也只能达到几毫米的量级，且控制精度差。所以压电马达就成了微机械开发过程中首选的动力源和控制器。
日本精工公司用两个超声马达和三个小轮子组成了能行走的机器人，该机器人的尺寸为8.6mm×9.3mm×7.2mm。其中压电马达只需6V的驱动电压，质量0.002kg，能产生0.1×10-5N●m的启动力矩，最大行走速度500m/s。开发这样的微机械系统包含这诸多精密技术，机器人设计中，微型马达是其核心技术之一[2]。

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